| dc.contributor.advisor | Čada, Martin | |
| dc.contributor.author | Kozlová, Miroslava | |
| dc.date.accessioned | 2022-03-08T14:23:56Z | |
| dc.date.available | 2022-03-08T14:23:56Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.date.submitted | 2017-12-12 | |
| dc.identifier.uri | https://dspace.jcu.cz/handle/123456789/38583 | |
| dc.description.abstract | Tato magisterská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici tenké vrstvy ITO pomocí sondové diagnostiky. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry nízkoteplotního plazmatu, princip sondové diagnostiky a teorie užívané pro její vyhodnocování, a část praktickou, kde jsou zpracovány výsledky provedeného měření v závislosti na změnách depozičních podmínek. | cze |
| dc.format | 60 s. | |
| dc.format | 60 s. | |
| dc.language.iso | cze | |
| dc.publisher | Jihočeská univerzita | cze |
| dc.rights | Bez omezení | |
| dc.subject | sondová diagnostika | cze |
| dc.subject | fyzika plazmatu | cze |
| dc.subject | depozice tenkých vrstev | cze |
| dc.subject | probe diagnostics | eng |
| dc.subject | plasma physics | eng |
| dc.subject | deposition of thin layers | eng |
| dc.title | Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu | cze |
| dc.title.alternative | Probe diagnostic of low temperature plasma during the deposition process | eng |
| dc.type | diplomová práce | cze |
| dc.identifier.stag | 44646 | |
| dc.description.abstract-translated | This master thesis deals with examination of the parameters of low temperature plasma which is used for the deposition of thin layer of ITO. The method which is used in this thesis is the probe diagnostics. This thesis is divided into two parts. The first is the theoretical part, in which the basic parameters of low temperature plasma, principles of the probe diagnostics, and theories for this method are explained. The second part is the practical part, which presents the results of the measurement depending on changes in conditions of deposition. | eng |
| dc.date.accepted | 2018-01-15 | |
| dc.description.department | Přírodovědecká fakulta | cze |
| dc.thesis.degree-discipline | Fyzikální měření a modelování | cze |
| dc.thesis.degree-grantor | Jihočeská univerzita. Přírodovědecká fakulta | cze |
| dc.thesis.degree-name | Mgr. | |
| dc.thesis.degree-program | Fyzika | cze |
| dc.description.grade | Dokončená práce s úspěšnou obhajobou | cze |
| dc.contributor.referee | Hubička, Zdeněk | |
| dc.contributor.referee | Poláková, Helena | |
