dc.contributor.advisor | Straňák, Vítězslav | |
dc.contributor.author | Durchan, Jan | |
dc.date.accessioned | 2022-03-08T14:21:17Z | |
dc.date.available | 2022-03-08T14:21:17Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.date.submitted | 2018-04-18 | |
dc.identifier.uri | https://dspace.jcu.cz/handle/123456789/38457 | |
dc.description.abstract | Tato bakalářská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu
využívaného při depozici bio kompatibilní nanostrukturované tenké vrstvy tvořené oxidy či nitridy titanu nebo zirkonu. Použité zdroje plazmatu jsou vyvážený magnetron a zdroj mikrovlnného plazmatu surfatron, diagnostické metody jsou Langmuirova sonda, QCM sonda a optická spektroskopie. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry plazmatu, jeho užití, vznik a princip sondové diagnostiky a na část praktickou, kde jsou prezentovány výsledky provedeného měření v závislosti na změnách depozičních podmínek. | cze |
dc.format | 42 s. | |
dc.format | 42 s. | |
dc.language.iso | cze | |
dc.publisher | Jihočeská univerzita | cze |
dc.rights | Bez omezení | |
dc.subject | HiPIMS | cze |
dc.subject | surfatron | cze |
dc.subject | QCM sonda | cze |
dc.subject | fyzika plazmatu | cze |
dc.subject | depozice tenkých
vrstev | cze |
dc.subject | IPVD | cze |
dc.subject | HiPIMS | eng |
dc.subject | surfatron | eng |
dc.subject | QCM probe | eng |
dc.subject | plasma physics | eng |
dc.subject | thin film deposition | eng |
dc.subject | IPVD | eng |
dc.title | Diagnostika a optimalizace nízkoteplotního
magnetronového výboje pro nanášení bio-kompatibilních tenkých vrstev | cze |
dc.title.alternative | Diagnostics and optimization of low
temperature discharge for purposes of thin film deposition of biocompatible materials | eng |
dc.type | bakalářská práce | cze |
dc.identifier.stag | 44642 | |
dc.description.abstract-translated | This bachelor thesis deals with examination of low temperature plasma employed for deposition of biocompatible nanostructured thin films comprising oxides or nitrides of titanium or zirconium. The used sources of plasma are balanced magnetron and microwave plasma source surfatron. The diagnostic methods employed are Langmuir's probe, QCM probe and optical spectroscopy. The thesis is divided into two parts Firstly, there is theoretical part, which provides explanation of basic plasma parameters, use of plasma, its formation and principles of probe diagnostics. Secondly, the theoretical part is followed by practical part,
where the results of carried out measurements are presented. | eng |
dc.date.accepted | 2018-05-22 | |
dc.description.department | Přírodovědecká fakulta | cze |
dc.thesis.degree-discipline | Biofyzika | cze |
dc.thesis.degree-grantor | Jihočeská univerzita. Přírodovědecká fakulta | cze |
dc.thesis.degree-name | Bc. | |
dc.thesis.degree-program | Biofyzika | cze |
dc.description.grade | Dokončená práce s úspěšnou obhajobou | cze |
dc.contributor.referee | Čada, Martin | |