• Přihlásit se
    Zobrazit záznam 
    •   Domovská stránka repozitáře publikací JU
    • Kvalifikační práce
    • Bakalářské práce
    • Přírodovědecká fakulta
    • Zobrazit záznam
    •   Domovská stránka repozitáře publikací JU
    • Kvalifikační práce
    • Bakalářské práce
    • Přírodovědecká fakulta
    • Zobrazit záznam
    JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

    Optická emisní spektroskopie pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu

    Thumbnail
    Zobrazit/otevřít
    Plný text práce (8.318Mb)
    Posudek vedoucího práce (1.123Mb)
    Posudek oponenta práce (1.328Mb)
    Průběh obhajoby práce (416.3Kb)
    Datum
    2016
    Autor
    Čižmárik, Filip
    Metadata
    Zobrazit celý záznam
    Abstrakt
    Tato bakalářská práce je zaměřena na neinvazivní diagnostickou metodu optickou emisní spektroskopii pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu. Hlavním cílem této práce je implementace OES do experimentů vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování tenkých vrstev, základní diagnostika nízkoteplotních plazmatických výbojů a následné zpracování a vyhodnocení naměřených dat. V rámci práce byly snímány spektrální čáry Ar+, Ti+, Ti, O v časově-rozlišeném měření. Byla sledována jejich intenzita v závislosti na průtoku reaktivního plynu O2 do depoziční komory a zda byla tato měření provedena za přítomnosti surfatronového výboje, či nikoli.
    URI
    https://dspace.jcu.cz/handle/123456789/33773
    Kolekce
    • Přírodovědecká fakulta

    DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
    Kontaktujte nás | Vyjádření názoru | Na tomto webu jsou používány pouze cookies nezbytně nutné pro zajištění fungování webu, pro které není nutné získat souhlas.
    Theme by 
    Atmire NV
     

     

    Procházet

    Vše v repozitářiTypy publikacíDle data publikováníAutořiNázvyKlíčová slovaTato kolekceDle data publikováníAutořiNázvyKlíčová slova

    Můj účet

    Přihlásit seZaregistrovat se

    DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
    Kontaktujte nás | Vyjádření názoru | Na tomto webu jsou používány pouze cookies nezbytně nutné pro zajištění fungování webu, pro které není nutné získat souhlas.
    Theme by 
    Atmire NV